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専門書 |
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実験のススメ |
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| 走査型電子顕微鏡（SEM）と透過型電子顕微鏡（TEM） |
| 【分析対象】 |
固体のままの試料を測定でき、光学顕微鏡の数倍の倍率･解像度を持っており、表面および内部の形態･構造の分析も可能です。さらにTEMは、物質内部の微細な構造を原子･分子レベルで直接観察し、試料の結晶構造について調べることができます。
電子照射により破壊されず、高真空中に保持することができる試料が分析対象となりますが、調製法を工夫することで、やわらかい物質や生体組織への応用が可能です。 |
| 【原理】 |
| 試料に入射された電子線は試料内部に比較的深く侵入し、そこで二次電子、反射電子、特性X線、可視光など種々の電子や電磁波を発生させ、また、ある確率で試料を透過していきます（透過電子）。電子線分析法を大別すると、電子線を照射し、試料から放出される二次電子や放出電子を検出するSEMと、試料を透過した電子線を鏡筒下部で検出するTEMとに分けられます。 |
| 【実用動向】 |
形態観察に用いられます。
工業分野では、金属･ガラス･硬質プラスチック･半導体などに、地球･環境化学分野では、岩石･粉塵などに、生命科学分野では、硬組織
（骨・歯）・軟組織などの分析に用いられます。 |
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